
微電子潔凈室靜電防控系統 潔凈室除靜電加濕器:靜電在工業生產中產生是難免的事情,因為工業生產存在摩擦、接觸、分離等產生靜電的一切條件,只要空氣干燥那么靜電電荷就會因為這些條件不斷出現,累積下來就會成為靜電。哪怕是在潔凈室里面,靜電該出現還是會出現的,而且潔凈室里面出現靜電就會不斷的吸附灰塵,導致潔凈室的灰塵顆粒增多,這樣就會降低潔凈室的潔凈度,會對產品質量、生產效率造成很大的影響。
潔凈室,也就是我們通常說的無塵車間、潔凈車間,在很多行業被廣泛使用,對于微電子工業來說更加重要,由于微電子的精密度越來越高,一點點的靜電跟灰塵影響都會導致產品質量下降,甚至是報廢。比如灰塵會降低微電子的絕緣性能,靜電放電會擊毀擊傷微電子,提高廢品率,導致成本增加,因此潔凈室也需要做好防靜電方面的工作。
這個需要從三個方面來防范靜電,首先就是在建造的時候就需要考慮到靜電的問題,因此需要選擇使用防靜電地板,對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結構系統等都考慮在內,還需要采用噴涂靜電涂料、防靜電噴劑等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電,使潔凈室不產生或少產生靜電電荷。
其次就是生產設備、運輸工具還有操作員工都需要做好防靜電的工作:員工需要穿戴防靜電服、防靜電鞋、防靜電手環,不能讓人體靜電對微電子產品造成破壞;然后就是生產設備需要安裝接地來導走靜電,或者是安裝除靜電離子風槍來消除機器設備上的靜電,同時要記住運輸周轉中的工具如小車,箱子也應采用防靜電的產品。
最后非常重要的一點就是控制好潔凈室的溫濕度:溫度23℃,空氣濕度在55±5%RH之間是可以很好的消除物體表面的靜電電荷,比如傳送帶、產品表面,這些地方的靜電電荷是其他方法不能防范的,可以通過控制空氣濕度不讓潔凈室干燥的方法來防范消除,所以潔凈室需要配置ZS-F5400Z系列除靜電加濕器來控濕防靜電。

ZS-F5400Z系列除靜電加濕器采用超聲波振蕩將水霧化成1-10微米的霧氣顆粒,霧氣顆粒被風機吹到空氣中迅速氣化就可以提高空氣濕度了,微電腦可以根據輸入的空氣濕度值自動加濕自動工作,無須專人照看,操作簡單方便,加濕速度快,霧化顆粒細,干霧不會打濕生產設備跟產品,用于微電子潔凈室可以很好的防范靜電。



